奉天实业申请用于聚焦离子束设备的自适应误差补偿方法及系统专利确保了补偿策略的自适应性和长期可靠性

2026/02/11

　　金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，深圳奉天实业有限公司申请一项名为“用于聚焦离子束设备的自适应误差补偿方法及系统”的专利，公开号CN120353188A，申请日期为2025年04月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种用于聚焦离子束设备的自适应误差补偿方法及系统，通过获取聚焦离子束设备在加工过程中产生的实时误差信号集合，根据实时误差信号集合训练自适应误差补偿模型，生成误差补偿参数集合，将误差补偿参数集合输入至聚焦离子束设备的控制单元，生成实时补偿控制指令集合；根据实时补偿控制指令集合调整聚焦离子束设备的离子源参数和偏转电极电压参数，输出调整后的离子束路径参数集合；根据调整后的离子束路径参数集合对目标加工区域进行离子束加工，并实时监测加工后区域的形貌特征数据以验证误差补偿效果。

　　天眼查资料显示，深圳奉天实业有限公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳奉天实业有限公司专利信息3条，此外企业还拥有行政许可2个。